株式会社石川プレート

パワー半導体工場の薬液輸送を支える耐熱型二重配管の製造手法の確立

パワー半導体工場において高温薬液を輸送するため輸入材が原料のテフロンチューブを使う必要があった。これに対し本事業で は耐熱塩ビを用いた耐熱型二重配管を開発・製造法の確立を行うことで、配管の高機能化かつサプライチェーンリスクの解消を 実現する。