採択事例 第13回
株式会社野口製作所
精密加工技術を活かした、半導体製造装置向け部品の製造への参入
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計画の概要
精密加工技術を活かした、半導体製造装置向け部品の製造への参入
高精度な前処理を施した金属・樹脂部品に対し、ＥＴＦＥコーティングを均一に施すことで、耐フッ酸・耐アルカリ性・耐摩耗 性・絶縁性を強化。特に、半導体製造装置のエッチング工程やウェハー搬送工程に最適なコーティング技術を提供し、高品質な 製品を実現いたします。
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出典: 補助金公式採択結果ページ
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