採択事例 第12回
株式会社タマリ工業
半導体デバイス製造用レーザアニール装置開発による新市場進出
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計画の概要
半導体デバイス製造用レーザアニール装置開発による新市場進出
自動車部品製造用のレーザ溶接機装置の開発・設計・製造のノウハウを活かし、先端半導体デバイス製造工程で必要とさ れる高速高精度ガルバノスキャナ走査方式ブルーレーザアニール装置を開発し半導体市場への参入を目指す。
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出典: 補助金公式採択結果ページ
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