採択事例 第11回
ナイトライド・セミコンダクター株式会社
半導体製造装置用光源ＬＥＤ化によるカーボンニュートラル
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計画の概要
半導体製造装置用光源ＬＥＤ化によるカーボンニュートラル
自動車のＥＶ化等、デジタル化の急速な進展に伴い、増大する半導体の製造時に使用される水銀ランプをフォトニック結晶加工による高効率ＵＶ－ＬＥＤに置き換えることで大幅な カーボンニュートラルを実現する。
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出典: 補助金公式採択結果ページ
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