採択事例 事業再構築補助金 第11回
ＨＵＧパワー株式会社
薬液不使用の洗浄機を開発、環境・コスト重視の半導体業界に進出
計画の概要
薬液不使用の洗浄機を開発、環境・コスト重視の半導体業界に進出
半導体製造工程に特化した薬液を使わない洗浄機の開発・販売。補助事業を活用し、コアの課題としてレジスト洗浄用のオゾン水装置のデモ機の開発製造に取組みます。
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出典: 事業再構築補助金公式採択結果ページ
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